1.臭氧在空氣中的自然半衷期參比值為23min.<消毒技術規范>， 1小時的臭氧自然衰退率為61%，在水中分解率為但在純水中分解速度較慢，如在蒸餾水中的半衰期大約是20min（20℃）。在水中的臭氧分解和臭氧在空氣中的自然半衷期參比值差別不大，兩者取一個值為60%，臭氧在水中的混合效率為50%，臭氧設備最大臭氧發生量為300g/H.按70－80%有效值計算。
9M3水中臭氧濃度為5PPm=5g/m3時,1小時需要臭氧量為：
9 m3x5g/m3/((1-61%)x50%x75%)=307g，、
取300g/H的臭氧發生量 
　　2.臭氧的分解的技術參考：
臭氧的化學性質極不穩定，在空氣和水中都會慢慢分解成氧氣，其反應式為
2O₃→3O₂+285kJ              （2-2）
　　含量為1﹪以下的臭氧，在常溫常壓的空氣中分解半衰期為16h左右。隨著溫度的升高，分解速度加快，溫度超過100℃時，分解非常劇烈，達到270℃高溫時，可立即轉化為氧氣。臭氧在水中的分解速度比空氣中快得多。在含有雜質的水溶液中臭氧迅速回復到形成它的氧氣。如水中臭氧濃度為6.25×10^-5mol/L（3mg/L）時，其半衰期為5～30min，但在純水中分解速度較慢，如在蒸餾水或自來水中的半衰期大約是20min（20℃），然而在二次蒸餾水中，經過85min后臭氧分解只有10﹪，若水溫接近0℃時，臭氧會變得更加穩定。
　　臭氧在水中的分解速度隨水溫和pH值的提高而加快，圖2-3為pH=7時，水溫和分解速度的關系，圖2-4為20℃時，pH和分解速度的關系。
為了提高臭氧利用率，水處理過程中要求臭氧分解得慢一些，而為了減輕臭氧對環境的污染，則要求處理后尾氣中的臭氧分解得快一些。